Η βαλβίδα πύλης κενού είναι μια ειδική βαλβίδα πύλης που χρησιμοποιείται ειδικά σε συστήματα κενού ή αρνητικής πίεσης. Ο βασικός του σχεδιασμός περιστρέφεται γύρω από την εξαιρετικά υψηλή σφράγιση και το χαμηλό ρυθμό outgassing. Η αρχή και τα χαρακτηριστικά λειτουργίας έχουν ως εξής:
1. Ορισμός πυρήνα
Λειτουργική τοποθέτηση
Χρησιμοποιείται σε εξαιρετικά υψηλό καθαρό περιβάλλον με βαθμό κενού μικρότερο ή ίσο με 1 × 10⁻⁶ PA για να αποφευχθεί η διείσδυση του εξωτερικού αερίου ή του εσωτερικού υλικού από την εξάπλωση και τη μόλυνση της κοιλότητας κενού.
Sealing Standard
Ο ρυθμός διαρροής ελέγχεται αυστηρά σε μικρότερο από ή ίσο με 1 × 10⁻ ⁰ Pa · m³/s (πρότυπο ανίχνευσης διαρροής ηλίου), το οποίο είναι πολύ υψηλότερο από τις συνήθεις βιομηχανικές βαλβίδες.
2. Βασικά δομικά χαρακτηριστικά
ΣΥΣΤΗΜΑΤΟΣ ΣΥΣΤΗΜΑΤΟΣ
Υιοθετήστε τη δυναμική σφραγίδα όλων των μετάλλων (αντικαταστήστε το παραδοσιακό κιβώτιο γέμισης) για να εξαλείψετε τη μικρο-μεταφορά που προκαλείται από την κίνηση του στελέχους των βαλβίδων.
Η επιφάνεια επαφής μεταξύ της πύλης και του καθίσματος της βαλβίδας είναι γυαλισμένη με καθρέφτη (RA μικρότερη ή ίση με 0,2 μm) και ο δακτύλιος στεγανοποίησης κράματος χρυσού-χαλκού χρησιμοποιείται για την επίτευξη σύνδεσης μοριακού επιπέδου.
material selection
Το σώμα της βαλβίδας είναι κατασκευασμένο από ανοξείδωτο ατσάλι 316L Ultra-Low και η επιφάνεια μειώνεται με ηλεκτρολυτική στίλβωση (μείωση της προσρόφησης αερίου).
Το Bellows είναι κατασκευασμένο από Hastelloy C-276 και μπορεί να αντέξει μεγαλύτερη ή ίση με 100.000 φορτία εναλλασσόμενου φορτίου με κενό-ατμοσφαιρικής πίεσης.
Ειδικός σχεδιασμός
Η κοιλότητα της βαλβίδας είναι εξοπλισμένη με βοηθητική θύρα εξάτμισης (διασύνδεση φλάντζας KF16) για να προ-εξισορροπεί και να εξισορροπήσει τη διαφορά πίεσης πριν από το άνοιγμα και το κλείσιμο.
Ο τύπος χαμηλής θερμοκρασίας είναι εξοπλισμένος με ένα μπουφάν ψύξης υγρού αζώτου για να αποφευχθεί η υψηλή θερμοκρασία από την πρόκληση του υλικού στεγανοποίησης.
3. Λειτουργία εργασίας
Διαδικασία ανοίγματος
Ξεκινήστε πρώτα την βοηθητική αντλία κενού για να εκκενώσετε την κοιλότητα της βαλβίδας στο ίδιο επίπεδο κενού με το σύστημα (για να αποτρέψετε τη διαταραχή της ροής αέρα).
Οι φυσητήρες οδηγούν την πύλη να ανεβαίνει κατακόρυφα και ο συντελεστής αγωγιμότητας ροής είναι μεγαλύτερος ή ίσος με 0,95 όταν το κανάλι ροής είναι πλήρως ανοιχτό.
Closing διαδικασία
Όταν πέσει η πύλη, ο διακόπτης ορίου ενεργοποιείται αυτόματα και η δευτερεύουσα εξάτμιση αρχίζει να εξασφαλίζει ότι εξαντλείται το υπολειμματικό αέριο στην κοιλότητα της βαλβίδας.
Η επιφάνεια της σφράγισης επαφής παράγει ένα αυτοκατοναγόμενο αποτέλεσμα κάτω από την αρνητική πίεση του συστήματος. Όσο μεγαλύτερη είναι η διαφορά πίεσης, τόσο πιο σφιχτή είναι η σφραγίδα.
4. Τυπικά σενάρια εφαρμογής
Εξοπλισμός ερευνών Scitefice
Καταπολέμηση της απομόνωσης των αγωγών δέσμης κενού επιταχυντή σωματιδίων (όπως ο ευρωπαϊκός οργανισμός για την πυρηνική έρευνα LHC). Βαλβίδα προστασίας κενού για την πηγή ακτινοβολίας Synchrotron.
Εξοπλισμός βιομηχανίας
Έλεγχος έγχυσης του θαλάμου αντίδρασης για τη μηχανή επίστρωσης Semiconductor ALD.
Βαλβίδα απομόνωσης έκτακτης ανάγκης για θάλαμο δοκιμής θερμικού κενού διαστημικού σκάφους.
Ειδικό πεδίο
Απομόνωση κενού του πρώτου συστήματος ψύξης τοίχου της συσκευής πυρηνικής σύντηξης (όπως το ITER).
Δείγμα μεταφοράς καναλιού σφράγιση του θάλαμου προσομοίωσης σκόνης σεληνιακής σκόνης.
5. Δείκτες απόδοσης
-remperature Range : -196 βαθμός (ψύξη υγρού αζώτου) έως 450 βαθμούς (τύπος ψησίματος υψηλής θερμοκρασίας).
Diameter Range : DN10 Micro Valve σε DN800 Μεγάλο θάλαμο κλειδώματος κενού.
Λειτουργία λειτουργίας: Χειροκίνητη οδήγηση γραναζιών, πνευματικό γρήγορο άνοιγμα (χρόνος απόκρισης<1s), electric stepping control (positioning accuracy 0.01mm).
6. Σημεία συντήρησης
Η ανίχνευση διαρροής φασματομετρίας μάζας ηλίου απαιτείται μετά από κάθε 1000 λειτουργίες και το συγκρότημα Bellows πρέπει να αντικατασταθεί εάν ο ρυθμός διαρροής υπερβεί το πρότυπο.
Η επιφάνεια της σφράγισης επαφής πρέπει να επαναπολεμείται κάθε 5 χρόνια για να αποκατασταθεί το φινίρισμα της επιφάνειας.
Απαγορεύεται η χρήση ακετόνης και άλλων οργανικών ουσιών για τον καθαρισμό. Συνιστάται ο στεγνός καθαρισμός στο πλάσμα.